Alimentation RF MKS rd5060z 60mhz 2000w

Alimentation RF MKS rd5060z 60mhz 2000wgénérateur RFEst un excellent générateur RF éprouvé sur le terrain avec des performances fiables et une capacité de sortie stable, démontrant une excellente stabilité du processus et une capacité de contrôle de sortie dans la vérification en machine réelle. Ce type d'alimentation RF permet un contrôle précis de la sortie RF, largement utilisé dans la pulvérisation de semi - conducteurs, CVD、PECVD、 Gravure et d'autres processus, et a d'excellentes performances. L'alimentation RF rd5060z a une excellente capacité de formation de film, dans le processus de film mince semi - conducteur, a l'avantage d'une vitesse de formation de film rapide, d'une efficacité élevée et d'une bonne qualité, dans une certaine mesure peut améliorer l'efficacité de la ligne de production et le rendement du produit fini, avec une très large gamme d'applications.

Alimentation RF MKS rd5060z 60mhz 2000wgénérateur RFSpécifications des paramètres

Marque d'équipement: MKS

Modèle de l'appareil: rd5060z

Entrée d'alimentation AC: 3 Phase ~, 480v, 15a

Sortie RF RF: Dual 2.0kw, 60mhz

通讯接口： Entrée/sortie CEX, Profibus, EtherNet, Entrée/sortie synchronisée, réservée, RS-232C

Dissipation de chaleur de l'équipement: refroidissement par eau dissipation de chaleur

Poids de l'équipement: 445 kg, 98lbs