Alimentation RF AE RfG 3001 13,56 MHz 3kW

Alimentation RF AE RfG 3001 13,56 MHz 3kWgénérateur RFC'est une source d'alimentation RF haute performance avec une excellente stabilité du processus et une capacité de contrôle éprouvées à long terme, capable de réaliser un contrôle précis de la sortie RF, avec d'excellentes performances dans les processus de pulvérisation semi - conductrice, de gravure, de CVD, de PECVD et autres.Les alimentations RF de la série AE RfG offrent une excellente stabilité du processus et des capacités de contrôle RF permettant un contrôle précis de la sortie RF. Les alimentations RF de la série RfG ont une bonne capacité de formation de film, une vitesse de formation de film rapide et une efficacité élevée, une large application dans le processus de film mince du processus de fabrication de semi - conducteurs, capable d'améliorer l'efficacité de la ligne de production et la performance du produit dans une certaine mesure. Ce type d'alimentation RF dans son ensemble adopte un design compact, petit et pratique, capable de réduire les coûts d'utilisation des clients.

Alimentation RF AE RfG 3001 13,56 MHz 3kWgénérateur RFSpécifications des paramètres

Marque de l'appareil: AE (Advanced Energy)

Modèle de l'appareil: RfG 3001

Entrée d'alimentation AC: 3 phases ~, ~ 208v / PE, 50 / 60Hz

Sortie RF RF: 13.56mhz, 3000W, 387v ~

Interface de communication: Control, CEx

Dissipation de chaleur de l'équipement: refroidissement par eau dissipation de chaleur

Besoins en eau d'entrée refroidie par eau Max pression d'entrée 6,9 Bar / 690 kPa