AE RF alimentation Paramount MF 15002 15kW

AE RF alimentation Paramount MF 15002 15kWGénérateur RF 1.8-2.17MHzEst une source d'alimentation RF haute performance avec une capacité de sortie stable et une capacité de contrôle validée à long terme sur le terrain, montrant une excellente stabilité du processus pendant le fonctionnement réel. L'alimentation RF de la série AE Paramount a une excellente capacité de formation de film, largement utilisée dans le processus de film mince semi - conducteur, ce type d'alimentation RF a une vitesse de formation de film rapide et une efficacité élevée, capable d'améliorer l'efficacité de la ligne de production et la performance du produit dans une certaine mesure. L'alimentation RF MF 15002 permet un contrôle précis de la sortie RF, la pulvérisation dans le processus de semi - conducteur, CVD、PECVD、 Il y a plus d'applications et de bonnes performances dans le processus de gravure.

AE RF alimentation Paramount MF 15002 15kWSpécifications des paramètres

Marque de l'appareil: AE (Advanced Energy)

Modèle de l'appareil: Paramount MF 15002

Entrée d'alimentation AC: 3 Phase ~ + PE, 200 ~ 208v, 50 / 60Hz, 70A

Sortie RF RF: 15kW, 1.8 ~ 2.17mhz, < 1000vrms

通讯接口： Synchronisation Entrée/Sortie, Entrée/Sortie CEX, Match, Utilisateur, Série, ENET

Dissipation de chaleur de l'équipement: refroidissement par eau dissipation de chaleur

Besoins en eau d'entrée refroidie par eau Max pression d'entrée 6,9 Bar / 690 kPa