MKS RF Alimentation 53 - S30 - 64 63.87mhz 18kw

MKS RF Alimentation 53 - S30 - 64 63.87mhz 18kw générateur RFEst un excellent générateur RF éprouvé sur le terrain avec des performances fiables et une capacité de sortie stable, démontrant une excellente stabilité du processus et une capacité de contrôle de sortie dans la vérification en machine réelle. Ce type d'alimentation RF permet un contrôle précis de la sortie RF, largement utilisé dans la pulvérisation de semi - conducteurs, CVD、PECVD、 Gravure et d'autres processus, et a d'excellentes performances. L'alimentation RF rd5060z a une excellente capacité de formation de film, dans le processus de film mince semi - conducteur, a l'avantage d'une vitesse de formation de film rapide, d'une efficacité élevée et d'une bonne qualité, dans une certaine mesure peut améliorer l'efficacité de la ligne de production et le rendement du produit fini, avec une très large gamme d'applications.

MKS RF Alimentation 53 - S30 - 64 63.87mhz 18kw RF Generator paramètres spécifications

Marque d'équipement: MKS

Modèle de l'appareil: 53 - S30 - 64

Entrée d'alimentation AC: 3 phases ~, 380 / 400 vac ± 10%, 16A, 50 / 60Hz

RF RF sortie RF: 63.87mhz, 18kw pulsé, 540watts, 50Ω

Interface de communication: Remote, RS - 232C

Dissipation de chaleur de l'équipement: refroidissement par air dissipation de chaleur