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Adresse
No.19, route de shugang Ouest, district de Yijiang, ville de Yangzhou, Province du Jiangsu
Catégories de produits
Jiangsu Shenzhou Semiconductor Technology Co., Ltd
MKS astron2l RPS semi - conducteur source Plasma à distance
NégociableMise à jour sur05/15
- Modèle
- Nature du fabricant
- producteurs
- Catégorie de produit
- Lieu d'origine
Vue d'ensemble
La source de plasma à distance à semi - conducteur MKS astron2l rps est un sous - ensemble qui joue un rôle clé dans le processus de nettoyage de la Chambre de dépôt et de gravure de lignes semi - conductrices, ce qui peut éliminer l'accumulation de sous - produits de processus à partir des parois de la Chambre, augmenter la durée de vie des outils de processus et réduire les sources de contamination des couches minces.
Détails du produit
MKS astron2l RPS semi - conducteur source Plasma à distanceEst une source de plasma longue distance de haute performance avec d'excellentes performances et une grande fiabilité, qui a été validée à long terme, est un sous - ensemble clé du processus de nettoyage de la Chambre de dépôt et de gravure, élimine l'accumulation de sous - produits de processus de la paroi de la Chambre, augmente la durée de vie des outils de processus et réduit la source de contamination par film mince.Astron Series rps est largement utilisé dans les processus de nettoyage des semi - conducteurs,Il peut être installé sur des plaques de silicium ou des Chambres de traitement de substrats de grande surface dans diverses configurations différentes. La série astron RPS fonctionne bien et est plus économique et fiable, fournissant le nettoyage de chambre de gaz réactif nécessaire pour le nettoyage de chambre CVD, FPD (écran plat) Nettoyage de chambre de gaz réactif, nettoyage de chambre solaire, empilement de cendres de photolithographie, oxydation, nitruration et atténuation chimique.
MKS astron2l RPS semi - conducteur source Plasma à distanceParamètres techniques
Modèle de l'appareil: astron ax7657 - 85,P/N 0190-41326W
Entrée AC: 208v ~, 3 phases ~, 50 / 60Hz, 30A
Méthode de dissipation de chaleur: refroidissement par eau dissipation de chaleur
Pression d'eau refroidie à l'eau: 100 psig (max.)
Interface de communication: RS - 232 / Cust I / o
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