MKS Revolution RPS ax7690 source de plasma à distance

MKS Revolution RPS ax7690 source de plasma à distanceFournit une source de gaz réactif haute performance et propre nécessaire au traitement des plaquettes semi - conductrices.L'innovation R * Evolution est un produit de la nouvelle gamme de sources de plasma à longue portée spécialement conçues pour les applications « onwafer », qui combine la technologie de plasma annulaire à faible champ éprouvée de MKS et la conception d'applicateurs de plasma * pour produire des particules ou des plots neutres atomiques ultra - propres.

Les radicaux atomiques sont importants dans de nombreux processus, tels que l'élimination de la colle photolithographique, le pré - nettoyage de la plaquette et la nitruration et l'oxydation du film mince.Les radicaux libres sont généralement créés en produisant un plasma.Cependant, les particules chargées associées sont parfois indésirables.Pour éviter ces effets néfastes, un plasma est généré à l'extérieur et les radicaux libres sont efficacement acheminés vers la Chambre de traitement.

MKS Revolution RPS ax7690 source de plasma à distanceLe générateur de gaz réactif intègre une chambre à vide à quartz, une alimentation RF et tous les contrôles nécessaires dans une unité compacte et indépendante pour faciliterDirectement sur la salle de traitement de l'outil.Il en résulte l'obtention d'une source de radicaux atomiques extrêmement propre, ce qui conduit à la réaction souhaitée sur la plaquette, tout en réduisant considérablement la complexité.La source Plasma longue portée R * Evolution peut fournir jusqu'à 6 kW de puissance plasma, fournissant un débit de radicaux libres élevé (jusqu'à 5 SLM) pour le processus, ce qui permet des vitesses de décapage ou de gravure deux fois plus rapides que les systèmes à micro - ondes traditionnels.En raison de leur haute efficacité et de leur faible coût, les sources plasma à distance R * Evolution réduisent considérablement l'investissement global et les coûts d'exploitation des outils.De plus, sa petite taille et sa conception simple favorisent une installation, une utilisation et une maintenance faciles pour l'utilisateur.