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Pièce 2802, bâtiment T4, bâtiment central de 胤xuan, district de Baoan, Shenzhen
Wechsler Nanosystems GmbH, Germany
Pièce 2802, bâtiment T4, bâtiment central de 胤xuan, district de Baoan, Shenzhen

Depuis plus d'un demi - siècle, OAI est présent dans le domaine des instruments de mesure de l'intensité et de l'énergie de la lumière ultraviolette pour un contrôle fiable et précis de l'étalonnage des processus de lithographie dans des industries telles que les semi - conducteurs, les systèmes microélectromécaniques (MEMS), l'encapsulation de plaquettes et La fabrication de points convexes de plaquettes. Le nouveau modèle 656 est un * analyseur d'exposition UV conçu pour les aligneurs de masque de contact / de proximité et les systèmes d'exposition par inondation. L'instrument peut stocker jusqu'à 400 séries de lectures d'exposition, est équipé d'interfaces Ethernet et USB pour télécharger les données de mesure enregistrées et a une plage d'intensité lumineuse allant jusqu'à 2000 MW par centimètre carré. Les longueurs d'onde optionnelles de la sonde comprennent 220 nm, 248 nm, 260 nm, 310 nm, 325 nm, 365 nm, 380 nm, 400 nm, 420 nm, 436 nm et 540 nm. OAI dispose d'un laboratoire d'étalonnage complet pour garantir la performance, la qualité et la fiabilité de nos instruments. Le modèle 656 est dérivé des normes du National Institute of Standards and Technology (NIST) des États - Unis et répond aux exigences de certification RoHS 2 (directive sur la limitation de l'utilisation de certains ingrédients nocifs dans les équipements électriques et électroniques, deuxième édition) et ce (évaluation européenne de la conformité).
Fonctionne avec les aligneurs de contact / proximité
Extrêmement précis et fiable
Données de mesure faciles à télécharger
Gamme jusqu'à 2000 MW par centimètre carré
Jusqu'à 400 groupes de données de mesure peuvent être stockés
Conforme aux normes rohs2 (directive relative à la limitation de l'utilisation de certains ingrédients nocifs dans les équipements électriques et électroniques, deuxième édition) et ce (évaluation européenne de la conformité), qui mettent en évidence les caractéristiques environnementales et de conformité du produit pour illustrer les scénarios d'adaptation de l'instrument, les avantages de performance et La conformité.
Spécifications des instruments
Interface utilisateur: écran tactile
Interface informatique: Interface Ethernet et USB en option pour télécharger les données de mesure enregistrées
Alimentation: alimenté par batterie, avec 3,7 V Li - ion rechargeable batterie avec protection de charge
Alimentation du chargeur: 110 - 240V AC
Paramètres d'affichage: double écran
Écran de configuration - adresse Ethernet, date et heure
Écran de fonctionnement - longueur d'onde, intensité lumineuse, temps, dose, température de la sonde, type de sonde, pourcentage d'écart, numéro de série, date d'expiration de l'étalonnage, état de la batterie, numéro de série de la sonde et état du chargeur
Capacité de stockage: jusqu'à 400 lectures
Plage d'intensité lumineuse: jusqu'à 2000mw / cm²
Résolution d'intensité lumineuse: 0.01mw / cm²
Gamme de dosage: jusqu'à 1000j / cm²
Résolution de dosage: 0,01 MJ / cm²
Plage de temps: jusqu'à 9999 secondes
Résolution temporelle: 00001 secondes
Exposition dose minimale: 25 MS
Taille: 14 pouces × 8,25 pouces × 3,5 pouces
Poids: 3,5 LBS
Environnement de travail: 15℃ - 40℃
Conformité: conforme aux normes rohs2 et ce (compatibilité et sécurité électromagnétiques)
Spécifications de la sonde
Détecteur de sonde: photodiode de silicium
可选波长: 220nm, 248nm, 254nm, 260nm, 310nm, 325nm, 365nm, 380nm, 400nm, 420nm, 436nm 和 540nm
Filtre: filtre absorbant / diélectrique multicouche
Plage d'intensité lumineuse: jusqu'à 2000mw / cm²
Interchangeabilité: toute sonde de type 656 peut être utilisée avec n'importe quel instrument de type 656
Conformité: conforme aux normes rohs2 et ce (compatibilité et sécurité électromagnétiques)