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Wechsler Nanosystems GmbH, Germany
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Modèle 656 compteur d'intensité et d'énergie UV

Modèle
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Vue d'ensemble

Le modèle 656 UV est conçu et fabriqué par OAI. $R $N compteur d'intensité lumineuse et d'énergie UV modèle 656 pour toutes les machines de lithographie pas à pas.

Détails du produit

Model 656 紫外线光强与能量计


Modèle 656 compteur d'intensité et d'énergie UV

Depuis plus d'un demi - siècle, OAI est présent dans le domaine des instruments de mesure de l'intensité et de l'énergie de la lumière ultraviolette pour un contrôle fiable et précis de l'étalonnage des processus de lithographie dans des industries telles que les semi - conducteurs, les systèmes microélectromécaniques (MEMS), l'encapsulation de plaquettes et La fabrication de points convexes de plaquettes. Le nouveau modèle 656 est un * analyseur d'exposition UV conçu pour les aligneurs de masque de contact / de proximité et les systèmes d'exposition par inondation. L'instrument peut stocker jusqu'à 400 séries de lectures d'exposition, est équipé d'interfaces Ethernet et USB pour télécharger les données de mesure enregistrées et a une plage d'intensité lumineuse allant jusqu'à 2000 MW par centimètre carré. Les longueurs d'onde optionnelles de la sonde comprennent 220 nm, 248 nm, 260 nm, 310 nm, 325 nm, 365 nm, 380 nm, 400 nm, 420 nm, 436 nm et 540 nm. OAI dispose d'un laboratoire d'étalonnage complet pour garantir la performance, la qualité et la fiabilité de nos instruments. Le modèle 656 est dérivé des normes du National Institute of Standards and Technology (NIST) des États - Unis et répond aux exigences de certification RoHS 2 (directive sur la limitation de l'utilisation de certains ingrédients nocifs dans les équipements électriques et électroniques, deuxième édition) et ce (évaluation européenne de la conformité).

Fonctionne avec les aligneurs de contact / proximité

Extrêmement précis et fiable

Données de mesure faciles à télécharger

Gamme jusqu'à 2000 MW par centimètre carré

Jusqu'à 400 groupes de données de mesure peuvent être stockés

Conforme aux normes rohs2 (directive relative à la limitation de l'utilisation de certains ingrédients nocifs dans les équipements électriques et électroniques, deuxième édition) et ce (évaluation européenne de la conformité), qui mettent en évidence les caractéristiques environnementales et de conformité du produit pour illustrer les scénarios d'adaptation de l'instrument, les avantages de performance et La conformité.

Modèle 656 intensité lumineuse UV et compteur d'énergie spécifications Description

Spécifications des instruments

Interface utilisateur: écran tactile

Interface informatique: Interface Ethernet et USB en option pour télécharger les données de mesure enregistrées

Alimentation: alimenté par batterie, avec 3,7 V Li - ion rechargeable batterie avec protection de charge

Alimentation du chargeur: 110 - 240V AC

Paramètres d'affichage: double écran

Écran de configuration - adresse Ethernet, date et heure

Écran de fonctionnement - longueur d'onde, intensité lumineuse, temps, dose, température de la sonde, type de sonde, pourcentage d'écart, numéro de série, date d'expiration de l'étalonnage, état de la batterie, numéro de série de la sonde et état du chargeur

Capacité de stockage: jusqu'à 400 lectures

Plage d'intensité lumineuse: jusqu'à 2000mw / cm²

Résolution d'intensité lumineuse: 0.01mw / cm²

Gamme de dosage: jusqu'à 1000j / cm²

Résolution de dosage: 0,01 MJ / cm²

Plage de temps: jusqu'à 9999 secondes

Résolution temporelle: 00001 secondes

Exposition dose minimale: 25 MS

Taille: 14 pouces × 8,25 pouces × 3,5 pouces

Poids: 3,5 LBS

Environnement de travail: 15℃ - 40℃

Conformité: conforme aux normes rohs2 et ce (compatibilité et sécurité électromagnétiques)

Spécifications de la sonde

Détecteur de sonde: photodiode de silicium

可选波长: 220nm, 248nm, 254nm, 260nm, 310nm, 325nm, 365nm, 380nm, 400nm, 420nm, 436nm 和 540nm

Filtre: filtre absorbant / diélectrique multicouche

Plage d'intensité lumineuse: jusqu'à 2000mw / cm²

Interchangeabilité: toute sonde de type 656 peut être utilisée avec n'importe quel instrument de type 656

Conformité: conforme aux normes rohs2 et ce (compatibilité et sécurité électromagnétiques)