Valve de clapet pneumatique à vide élevé Swiss VAT 54 Series

Valve de clapet pneumatique à vide élevé Swiss VAT 54 Series

Positionnement des produits de la série I.54

• Type de produit: soupape de clapet à vide pneumatique (Pneumatic Gate Valve)

• Fonctions de basePour:

• Cavité à vide à isolation rapide (temps de marche / arrêt < 1 seconde)

• Convient aux semi - conducteurs, photovoltaïques, équipements de recherche scientifiqueSystème de vide ultra - élevé (UHV)

• Avantage cléPour:

• Taux de fuite faible à<1×10 ⁻⁹ mbar·L/s(version métallique scellée jusqu'à 10⁻¹¹mbar·l / s)

• Conception zéro fuite, compatibleGaz corrosifs(par exemple cl₂, sf₆ dans le processus CVD)

II. Règles de désignation du modèle (TVA 54152 - AA par exemple)

Iii. Comparaison des sous - modèles couramment utilisés sur le marché chinois

Iv. Paramètres techniques de base

1. 真空性能Pour:

• Taux de fuite: version en caoutchouc fluoré < 1 × 10⁻⁹ mbar·l / s, version scellée en métal < 1 × 10⁻¹ mbar·l / s

• Résistance à la pression différentielle: version standard 10⁻⁹ mbar à la pression atmosphérique (résistance à la pression bidirectionnelle en option)

2. Caractéristiques mécaniquesPour:

• Mode d'entraînement: pneumatique à double effet (nécessite 0,5 ~ 0,7 MPa d'air comprimé)

• Temps de démarrage et de fermeture: ≤ 0,5 s en dessous de dn63, dn200 ≤ 0,5 s

• Durée de vie du cycle: > 500 000 fois (version scellée en métal)

3. Compatibilité des matériauxPour:

• Caoutchouc fluoré (aa): faible coût, non résistant au plasma

• Joint métallique (mm): résistance à la corrosion, résistance à haute température, prix 30% ~ 50% plus élevé

• Matériau du corps: acier inoxydable 316L (polissage électrolytique optionnel classe EP)

• Options d'étanchéité:

V. Étapes clés de sélection

1. Déterminer le diamètre de passage: sélection dn40 / dn63 / dn160 / dn200 en fonction du débit du tuyau

2. Choisir un jointPour:

• Procédé conventionnel: caoutchouc fluoré (aa)

• Gravure / implantation ionique: Joint métallique (mm)

3. Brides assortiesPour:

• Brides ISO - K: grands débits (par exemple, équipement de revêtement)

• Bride CF: vide ultra - élevé (par exemple cavité semi - conductrice)

4. Besoins spéciauxPour:

• Gaz corrosifs: en optionCorps de valve nickeléouHastelloy scellé

• Environnement haute température: Joint métallique + électrovanne haute température (par exemple, série festo ms6)

Vi. Installation et entretien

• Spécifications d'installationPour:

• Le corps de valve doit être monté horizontalement ou verticalement (évitez l'inclinaison)

• Les boulons à brides doivent être serrés dans l'ordre Diagonal (Torque Reference VAT Manual)

• Recommandations de maintenancePour:

• Vérifiez l'usure de la surface d'étanchéité tous les 6 mois (la version métallique peut être broyée régulièrement)

• Anneau d'étanchéité en caoutchouc fluoré doit rester pendant 12 heures après l'exposition à l'atmosphère avant d'être aspiré

Vii. Traitement typique des défaillances

Viii. Alternatives au marché chinois

1. Remplacement domestiquePour:

• Shenyang koyiVannes de clapet série GDC(dn40 ~ dn250, taux de fuite < 5 × 10⁻⁹ mbar·l / s)

2. La marque Day SeriesPour:

• SMCSérie vzh(vide faible et moyen, bon rapport qualité / prix)

• Délai de livraisonPour:

• Modèle standard: 4 - 6 semaines

• Version personnalisée (par exemple, corps de vanne nickelé): 8 - 12 semaines

Valve de clapet pneumatique à vide élevé Swiss VAT 54 Series