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Bâtiment 6, route no.93 Guosheng, ville de Nanqiao, district de Fengxian, Shanghai
Shanghai maosu Machinery Equipment Co., Ltd
Bâtiment 6, route no.93 Guosheng, ville de Nanqiao, district de Fengxian, Shanghai
Valve à vide suisse VAT 47 Series
Voici à propos deValves angulaires à vide élevé série 47 Swiss VAT CompanyAnalyse technique détaillée, couvrant sa classification de modèle, ses caractéristiques techniques, son Guide de sélection et son application sur le marché chinois:
Type de produit: soupape d'angle à vide élevé à entraînement pneumatique (angle valve)
Utilisation de basePour:
Isolation et contrôle de la ventilation de la cavité à vide
Convient pour les semi - conducteurs, photovoltaïques, revêtement sous vide, équipements de recherche scientifique et autres scénarios de vide ultra - élevé (UHV)
Certification de basePour:
Conforme à la norme semi, taux de fuite < 1 × 10⁻⁹ mbar · L / s
Compatibilité matérielle: acier inoxydable 316L, caoutchouc fluoré (FKM) ou joint métallique complet
| Segment de code | Signification |
|---|---|
| 47 | Nom de la série (soupape d'angle pneumatique à vide élevé) |
| 1 | Taille du corps de valve (1 = dn16, 5 = dn160) |
| 52 | Type de bride (52 = bride CF) |
| AA | Matériau d'étanchéité (AA = caoutchouc fluoré, MM = métal) |
| modèle | Diamètre de passage | Types de brides | Matériaux d'étanchéité | Plage de température | Scénarios d'application typiques |
|---|---|---|---|---|---|
| TVA 47112-AA | DN16 | CF-F | Caoutchouc fluoré | -20~+150°C | Petite cavité à vide |
| TVA 47152-AA | DN40 | CF-F | Caoutchouc fluoré | -20~+150°C | Valve d'admission d'air pour équipement de revêtement |
| TVA 47552-MM | DN160 | ISO-K | Joints métalliques | -200~+250°C | Machine de gravure de semi - conducteur |
| TVA 47652-AA | DN63 | CF-F | Caoutchouc fluoré | -20~+150°C | Système de vide pour modules photovoltaïques |
真空性能Pour:
Taux de fuite: version en caoutchouc fluoré < 1 × 10⁻⁹ mbar·l / s, version scellée en métal < 1 × 10⁻¹ mbar·l / s
Résistance à la pression différentielle: version standard 1 × 10⁻⁹ mbar à la pression atmosphérique (version métallique scellée jusqu'à 10⁻¹² mBar)
Caractéristiques mécaniquesPour:
Mode d'entraînement: pneumatique à simple / double effet (nécessite 0,4 ~ 0,6 MPa d'air comprimé)
Temps de démarrage et de fermeture: < 1 seconde (spécifications ci - dessous dn40)
Durée de vie du cycle: > 1 million de fois (version scellée en métal > 500 000 fois)
Adaptabilité environnementalePour:
Version en caoutchouc fluoré résistance aux solvants: compatible avec l'acétone, l'alcool (non compatible avec les acides forts)
Température de cuisson de la version métallique scellée: jusqu'à 250 ° C (électrovanne haute température en option requise)
Déterminer le diamètre de passage: choisissez dn16 / dn40 / dn63 / dn160 etc. selon la taille de tuyau
Choisir un jointPour:
Caoutchouc fluoré (aa): faible coût, adapté au vide général (≤ 10⁻⁹ mBar)
Joint métallique (mm): vide ultra - élevé (≤ 10⁻¹¹mbar), résistant aux températures élevées
Brides assortiesPour:
Brides CF: Ultra High Vacuum standard (industrie des semi - conducteurs)
Brides ISO - K: applications à grand débit (p. ex. équipement de revêtement)
Configuration du drivePour:
Action unique (ressort de rappel): arrêt automatique hors tension
Double effet: besoin de contrôle d'air bidirectionnel, réponse plus rapide
Spécifications d'installationPour:
La direction de la flèche du corps doit être cohérente avec la direction du flux d'air
Les boulons à brides nécessitent un serrage pas à pas en diagonale (Torque Reference VAT Technical Manual)
Recommandations de maintenancePour:
Bague d'étanchéité en caoutchouc fluoré remplacée tous les 2 ans (conditions d'utilisation fréquentes)
Valve d'étanchéité en métal fait hélium spectrométrie de masse tous les 5 ans
| Phénomène de défaillance | Causes possibles | solution |
|---|---|---|
| La valve ne peut pas être fermée | Pression insuffisante de la source d'air / usure de la bague d'étanchéité | Vérifiez le circuit d'air (≥ 0,4 MPa), Remplacez le joint |
| Degré de vide non conforme | Contamination de la surface d'étanchéité de la bride | Nettoyage de la surface d'étanchéité avec un chiffon sans poussière trempé dans de l'alcool |
| Démarrage et fermeture ralentissent | Défaillance de l'électrovanne / fuite du cylindre | Remplacement de l'électrovanne d'entraînement (festo ou SMC recommandé) |
Remplacement domestiquePour:
Pékin kokonomètreValve d'angle série ZK(dn16 ~ dn200, taux de fuite < 5 × 10⁻⁹ mbar · L / s)
La marque Day SeriesPour:
SMCSérie vxh(convient pour le vide faible et moyen, rentable)
Délai de livraison: 2 - 4 semaines en stock pour les modèles réguliers, 8 - 12 semaines pour les corps de valve personnalisés
Valve à vide suisse VAT 47 Series