Clapet à vide TVA Suisse 96603 - 01

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Vue d'ensemble

Swiss VAT vanne à vide 96603 - 01 $R $N informations de base $R $N numéro de pièce d'origine: 96603 - 01 $R $N $R $N modèles de vannes applicables: série TVA 96600 vannes à vide élevé $R $N $R $N matériel: acier inoxydable 316L (polissage électrolytique Classe EP) $R $N $R $N traitement de surface: ra≤ 0,1 μm (polissage miroir)

Détails du produit

Clapet à vide TVA Suisse 96603 - 01

1. Informations de base

Numéro de pièce d'origine: 96603 - 01
Modèles de valve applicables: valve d'obturateur à vide élevé série TVA 96600
matière: acier inoxydable 316L (classe EP polie électrolytiquement)
Traitement de surface: RA ≤ 0,1 μm (polissage miroir)

2. Paramètres de base

paramètre	spécification
taille	Vanne dn160 adaptée (6,3 ')
Tolérance d'épaisseur	±0.005mm
Planéité	≤0.01mm/m
Classe d'étanchéité sous vide	≤ 1 × 10⁻⁹ mbar · L / S (avec bague d'étanchéité en métal)
Gamme de résistance à la température	- 270 ℃ ~ + 450 ℃ (configuration d'étanchéité tout en métal)

3. Caractéristiques structurelles

Conception d'étanchéité double facePour:

Couverture principale étanche: Joint métallique conique (cuivre ou acier inoxydable)
Joint secondaire: Joint élastomère en option (par exemple viton) ®）

Système de guidagePour:

Guidage rectiligne de précision (coefficient de frottement < 0001)

Interface de conduitePour:

Actionneurs pneumatiques TVA standard (par exemple série 96100)

4. Modèles de valve compatibles

Série de valves TVA	Exemples de modèles spécifiques
96600	96603, 96606, 96610
96800	96803 (taille à confirmer)

5. Installation et entretien

Procédure d'installationPour:

Nettoyage de la cavité de la valve (avec un chiffon sans poussière + alcool de haute pureté)
Bague d'étanchéité préinstallée (nécessite un gabarit de montage spécial)
Essai manuel de résistance au glissement après insertion de la plaque de valve (doit être ≤ 5n)

Exigences de couplePour:

Couple de boulon de bride: 20 ~ 25 nm (ISO - kf160)

6. Indicateurs de durée de vie

Conditions de travail	Espérance de vie
Vide à haute température normale (< 10⁻⁷ mBar)	> 10⁷ cycles
Haute température (300 ℃)	Environ 5 x 10⁶ cycles
Environnement plasma	Doit vérifier l'usure tous les 5 × 10⁵

7. Méthode de détection d'usure

Détection optiquePour:

Mesure des rayures sur la surface d'étanchéité à l'aide d'un interféromètre à lumière blanche (la profondeur ≤ 0,5 μm est sûre)

Tests de performancePour:

Détection de fuite par spectrométrie de masse à l'hélium (≤ 1 × 10⁻⁹ mbar·l / s à l'état fermé de la plaque de vanne)

8. Comparaison des alternatives

Marque / modèle	Points de différence
VAT 96603-01-M	Surface d'étanchéité plaquée or (résistance à la corrosion + conductivité)
Pfeiffer PGV 160	Compatible mais avec modification de l'interface de l'actionneur
Imitations nationales	Coût inférieur de 60%, durée de vie d'environ 40% usine d'origine

Cette plaque de valve nécessite un ajustementVAT 229310 série bague d'étanchéitéUtilisé. pourEquipement semi - conducteur, remplacement obligatoire recommandé tous les 2 ans ou 10 cycles ⁶. Le délai de livraison pour les versions personnalisées (par exemple, revêtement de nitrure de silicium aluminisé) est soumis à 8 semaines supplémentaires.

Clapet à vide TVA Suisse 96603 - 01

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