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Bâtiment 6, route no.93 Guosheng, ville de Nanqiao, district de Fengxian, Shanghai
Shanghai maosu Machinery Equipment Co., Ltd
Bâtiment 6, route no.93 Guosheng, ville de Nanqiao, district de Fengxian, Shanghai
Swiss VAT série 590 vanne de section de climatisation électrique haute - vérité
Type de produit: valve de commande électrique (proportional control valve)
Fonctions de basePour:
Régulation de pression de précision(gamme de 10⁻³ ~ 10⁻³mbar)
Contrôle dynamique du débit (pour les processus tels que CVD, PVD, gravure, etc.)
Avantage cléPour:
Résolution jusqu'à0,1% pleine échelle, temps de réponse < 50ms
étanchéité entièrement métallique (débit < 1 × 10⁻¹¹mbar·l / s)
soutienQuantité analogique (0 - 10v / 4 - 20MA)EtCommunication numérique (RS485 / Profibus)contrôle
| Segment de code | Signification |
|---|---|
| 590 | Nom de la série (vanne de régulation électrique) |
| .12 | Dimensions du diamètre de passage (12 = dn25, 18 = dn40) |
| AA | Matériau d'étanchéité (AA = caoutchouc fluoré, MM = métal) |
| modèle | Diamètre de passage | Signaux de contrôle | Matériaux d'étanchéité | Taux de fuite | Scénarios d'application typiques |
|---|---|---|---|---|---|
| TVA 590.12-AA | DN25 | 0-10V/4-20mA | Caoutchouc fluoré | <1×10 ⁻⁹ mbar·L/s | Système de vide de laboratoire |
| TVA 590.18-MM | DN40 | RS485 et Profibus | Joints métalliques | <1×10 ⁻ ¹¹ mbar·L/s | Équipement ALD semi - conducteur |
| TVA 590.24-MM | DN63 | 0-10V | Joints métalliques | <1×10 ⁻ ¹¹ mbar·L/s | Contrôle d'admission d'air pour chambre de revêtement photovoltaïque |
Régulation des performancesPour:
Linéarité: ± 0,5% pleine échelle
Précision de répétition: ± 0,2%
Coefficient de débit (CV):0.02(DN25)~0.15(DN63)
Caractéristiques électriquesPour:
Tension d'alimentation: 24V DC ± 10%
Consommation électrique: < 15W (veille < 5W)
Position feedback: 0 - 10v ou encodeur absolu SSI en option
Adaptabilité environnementalePour:
Joint en caoutchouc fluoré: - 20 ° C ~ + 150 ° C
Joint métallique: - 200 ° C ~ + 250 ° C (état de cuisson)
Plage de température:
Résistance à la corrosion: compatible avec les gaz de processus tels que cl₂, nf₃, etc. (nécessite un corps de vanne nickelé en option)
Déterminer le diamètre de passagePour:
Sélection dn25 / dn40 / dn63 en fonction des besoins de trafic
Formule de calcul:
(Q: débit, Δp: pression différentielle, ρ: densité du gaz)
Choisir le mode de contrôlePour:
Contrôle de volume analogique: convient pour le contrôle direct PLC
Communication numérique: convient pour l'intégration dans un système intelligent de gestion du vide
Matériaux d'étanchéitéPour:
Caoutchouc fluoré (aa): faible coût, adapté au vide général (≤ 10⁻⁹ mBar)
Joint métallique (mm): vide ultra - élevé (≤ 10⁻¹¹ mBar), résistant au plasma
Options spécialesPour:
Version chauffée: empêche la condensation des gaz (par exemple, procédé sih₄)
Certification atex pour la protection contre les explosions: pour environnements dangereux
Installation mécaniquePour:
La direction du corps de valve doit être cohérente avec le flux d'air (identification par la flèche)
Évitez les sources de vibrations (il est recommandé de charger un support amortisseur)
Connexions électriquesPour:
Câblage de câble blindé (protection contre les interférences électromagnétiques)
Résistance à la terre < 1Ω
Calibration des paramètresPour:
Réglage du zéro (0% d'ouverture) via l'IHM ou le logiciel
Calibrer la pleine échelle (100% d'ouverture correspond à 10v / 20ma)
Test Step Response (cible: dépassement < 5%)
| Phénomène de défaillance | Causes possibles | solution |
|---|---|---|
| Secousse d'ouverture de valve | Interférence de signal / alimentation instable | Vérifiez la mise à la terre blindée, alimentation régulée |
| Overtune de contrôle de pression | Les paramètres PID ne sont pas raisonnables | 重新整定(P↓, I↑, D↓) |
| Interruption des communications | Erreur de configuration du Protocole | Vérifier le débit en bauds / l'adresse de l'appareil |
Swiss VAT série 590 vanne de section de climatisation électrique haute - vérité