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Shanghai maosu Machinery Equipment Co., Ltd
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Swiss VAT série 590 vanne de section de climatisation électrique haute - vérité

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Vue d'ensemble

Swiss VAT 590 série ÉLECTRIQUE vanne de réglage de la climatisation Haute - vérité $R $n type de produit: vanne de réglage de la pression de précision (10⁻ amp; amp; amp; amp; amp; amp; amp; amp; amp; amp; amp; amp; amp; amp; amp; amp; amp; amp; amp; amp; amp; amp; amp; amp; amp; amp; N° 179; ~ 10⁻⁹mbarrange) $R $N $R $N contrôle dynamique du débit (pour les processus tels que CVD, PVD, gravure, etc.)

Détails du produit

Swiss VAT série 590 vanne de section de climatisation électrique haute - vérité

Positionnement des produits de la série i.590

  • Type de produit: valve de commande électrique (proportional control valve)

  • Fonctions de basePour:

    • Régulation de pression de précision(gamme de 10⁻³ ~ 10⁻³mbar)

    • Contrôle dynamique du débit (pour les processus tels que CVD, PVD, gravure, etc.)

  • Avantage cléPour:

    • Résolution jusqu'à0,1% pleine échelle, temps de réponse < 50ms

    • étanchéité entièrement métallique (débit < 1 × 10⁻¹¹mbar·l / s)

    • soutienQuantité analogique (0 - 10v / 4 - 20MA)EtCommunication numérique (RS485 / Profibus)contrôle


II. Règles de désignation du modèle (exemple: TVA 590.12-aa)

Segment de code Signification
590 Nom de la série (vanne de régulation électrique)
.12 Dimensions du diamètre de passage (12 = dn25, 18 = dn40)
AA Matériau d'étanchéité (AA = caoutchouc fluoré, MM = métal)

Iii. Comparaison des sous - modèles couramment utilisés sur le marché chinois

modèle Diamètre de passage Signaux de contrôle Matériaux d'étanchéité Taux de fuite Scénarios d'application typiques
TVA 590.12-AA DN25 0-10V/4-20mA Caoutchouc fluoré <1×10 ⁻⁹ mbar·L/s Système de vide de laboratoire
TVA 590.18-MM DN40 RS485 et Profibus Joints métalliques <1×10 ⁻ ¹¹ mbar·L/s Équipement ALD semi - conducteur
TVA 590.24-MM DN63 0-10V Joints métalliques <1×10 ⁻ ¹¹ mbar·L/s Contrôle d'admission d'air pour chambre de revêtement photovoltaïque

Iv. Paramètres techniques de base

  1. Régulation des performancesPour:

    • Linéarité: ± 0,5% pleine échelle

    • Précision de répétition: ± 0,2%

    • Coefficient de débit (CV):0.02(DN25)~0.15(DN63)

  2. Caractéristiques électriquesPour:

    • Tension d'alimentation: 24V DC ± 10%

    • Consommation électrique: < 15W (veille < 5W)

    • Position feedback: 0 - 10v ou encodeur absolu SSI en option

  3. Adaptabilité environnementalePour:

    • Joint en caoutchouc fluoré: - 20 ° C ~ + 150 ° C

    • Joint métallique: - 200 ° C ~ + 250 ° C (état de cuisson)

    • Plage de température:

    • Résistance à la corrosion: compatible avec les gaz de processus tels que cl₂, nf₃, etc. (nécessite un corps de vanne nickelé en option)


V. Étapes clés de sélection

  1. Déterminer le diamètre de passagePour:

    • Sélection dn25 / dn40 / dn63 en fonction des besoins de trafic

    • Formule de calcul:𝑄=𝐶𝑣Δ𝑃𝜌
      (Q: débit, Δp: pression différentielle, ρ: densité du gaz)

  2. Choisir le mode de contrôlePour:

    • Contrôle de volume analogique: convient pour le contrôle direct PLC

    • Communication numérique: convient pour l'intégration dans un système intelligent de gestion du vide

  3. Matériaux d'étanchéitéPour:

    • Caoutchouc fluoré (aa): faible coût, adapté au vide général (≤ 10⁻⁹ mBar)

    • Joint métallique (mm): vide ultra - élevé (≤ 10⁻¹¹ mBar), résistant au plasma

  4. Options spécialesPour:

    • Version chauffée: empêche la condensation des gaz (par exemple, procédé sih₄)

    • Certification atex pour la protection contre les explosions: pour environnements dangereux


Vi. Points clés d'installation et de mise en service

  • Installation mécaniquePour:

    • La direction du corps de valve doit être cohérente avec le flux d'air (identification par la flèche)

    • Évitez les sources de vibrations (il est recommandé de charger un support amortisseur)

  • Connexions électriquesPour:

    • Câblage de câble blindé (protection contre les interférences électromagnétiques)

    • Résistance à la terre < 1Ω

  • Calibration des paramètresPour:

    1. Réglage du zéro (0% d'ouverture) via l'IHM ou le logiciel

    2. Calibrer la pleine échelle (100% d'ouverture correspond à 10v / 20ma)

    3. Test Step Response (cible: dépassement < 5%)


Vii. Traitement typique des défaillances

Phénomène de défaillance Causes possibles solution
Secousse d'ouverture de valve Interférence de signal / alimentation instable Vérifiez la mise à la terre blindée, alimentation régulée
Overtune de contrôle de pression Les paramètres PID ne sont pas raisonnables 重新整定(P↓, I↑, D↓)
Interruption des communications Erreur de configuration du Protocole Vérifier le débit en bauds / l'adresse de l'appareil

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