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Adresse
Bâtiment 6, route no.93 Guosheng, ville de Nanqiao, district de Fengxian, Shanghai
Catégories de produits
Shanghai maosu Machinery Equipment Co., Ltd
Valve de vide TVA Suisse 01034 - ke01 - 0002
NégociableMise à jour sur05/18
- Modèle
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- producteurs
- Catégorie de produit
- Lieu d'origine
Vue d'ensemble
Swiss VAT Vacuum Valve 01034 - ke01 - 0002 $R $N Model Resolution (VAT Naming rule) $R $N signification du segment de code $R $n01034 série: soupape d'angle à vide haut de petit calibre $R $nke01 type de bride: ISO - kf16 (dn16) $R $n0002 Code de Configuration: avec actionneur pneumatique + capteur de position
Détails du produit
Valve de vide TVA Suisse 01034 - ke01 - 0002
1. Résolution de modèle (règles de dénomination TVA)
| Segment de code | Signification |
|---|---|
| 01034 | Série: vannes angulaires à vide élevé de petit calibre |
| KE01 | Type de bride: ISO - kf16 (dn16) |
| 0002 | Code de configuration: avec actionneur pneumatique + capteur de position |
2. Paramètres de base
| paramètre | spécification |
|---|---|
| Gamme de vide | 10⁻⁹ ~ 1000 mbar |
| Taux de fuite | ≤ 1 × 10⁻⁹ mbar · L / S (joint métallique) |
| Matériau du corps de valve | Acier inoxydable 316L (EP poli) |
| Options d'étanchéité | Tout métal d'étanchéité / ffkm élastomère |
| Mode de conduite | Double action pneumatique (4 ~ 6 bar) |
| Temps de réponse | ≤ 0,3 secondes (marche / arrêt) |
| Plage de température | - 200 ℃ ~ 250 ℃ (type standard) |
3. Caractéristiques structurelles
Conception zéro fuitePour:
Transmission à soufflets métalliques (sans risque de fuite d'étanchéité dynamique)
Joint de siège conique (joint de classe 10⁻⁹mbar)
Rétroaction intelligentePour:
Capteur de position à couplage magnétique intégré (sortie PNP)
Indicateur d'état LED (rouge / vert bicolore)
4. Applications typiques
Instruments analytiquesPour:
Isolation du système d'échantillonnage du spectromètre de masse
Chambre d'échantillon pour microscope électronique
Semi - conducteursPour:
Module de transfert de disque (efem)
Contrôle de passage de gaz d'équipement de gravure
5. Spécifications d'installation
Connexion à bridesPour:
Limite de couple: 5 nm (étrier ISO - kf16)
Joint d'étanchéité: joint en cuivre sans oxygène (P / N: vat - cu16)
Exigences de la route de gazPour:
Gaz d'entraînement: azote ou Argon (pureté ≥ 99999%)
Filtration de la ligne: filtre 0,1 μm
6. Interface électrique
| borne | fonction |
|---|---|
| 1 (Brun) | 24V DC + |
| 2 (bleu) | 0V |
| 3 (noir) | Signal d'ouverture de vanne (PNP) |
| 4 (blanc) | Signal de fermeture de vanne (PNP) |
7. Cycle de maintenance
| projet | opération | Le cycle |
|---|---|---|
| Inspection de la surface d'étanchéité | Détection par interféromètre à lumière blanche | 1 AN / 10⁵ cycles |
| Durée de vie du soufflet | Test de détection de fuite à l'hélium | 5 ans ou 10 cycles ⁶ |
| Calibration du capteur de position | Réglage du feedback de position de soupape | 2 ans |
8. Diagnostic d'échec
| Le Code | Signification | Programme de traitement |
|---|---|---|
| E01 | Perte de signal du capteur | Vérifier l'alignement du couplage magnétique |
| E03 | Pression d'air insuffisante | Confirmez la pression d'entraînement ≥ 4 Bar |
| E05 | Alarme de surchauffe | Vérifier si la température ambiante est dépassée |
9. Alternatives
| Marque / modèle | Points de différence |
|---|---|
| VAT 01034-KE01-0001 | Aucun capteur de position |
| Pfeiffer EVR 116 | Actionneur électrique, réponse plus lente |
| NorCal UHV-16 | Prix 25% moins cher, taux de fuite légèrement plus élevé |
Délai de livraison standard de 12 semaines pour ce modèle. Si nécessaireVersion ultra - Haute Vacuum (10⁻¹¹mbar)OuVersion sans magnétiqueUn cycle de personnalisation supplémentaire de 6 semaines est requis. TVA recommandée pour accompagnerSérie 52xLe Groupe d'électrovannes réalise un contrôle automatique.
Valve de vide TVA Suisse 01034 - ke01 - 0002
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