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Shanghai maosu Machinery Equipment Co., Ltd
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Valve de vide TVA Suisse 59024 - ge01 - 0003

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Vue d'ensemble

Swiss VAT Vacuum Valve 59024 - ge01 - 0003 $R $N Model Resolution (VAT Naming rule) $R $N signification du segment $R $n59024 série: vanne d'angle à vide élevé $R $nge01 type de bride: ISO - kf40 $R $n0003 Code de configuration: avec actionneur pneumatique

Détails du produit

Valve de vide TVA Suisse 59024 - ge01 - 0003

1. Résolution de modèle (règles de dénomination TVA)

Segment de code Signification
59024 Série: vannes angulaires à vide élevé
GE01 Type de bride: ISO - kf40
0003 Code de configuration: avec actionneur pneumatique

2. Paramètres de base

paramètre spécification
Gamme de vide 10⁻⁶ ~ 1000 mbar
Taux de fuite ≤ 1 × 10⁻⁹ mbar · L / S (Test d'hélium)
Norme de bride ISO-KF40 (DN40)
Matériau du corps de valve Acier inoxydable 316L (EP poli)
Matériaux d'étanchéité Caoutchouc fluoré (FKM) / Joint tout métal en option
Mode de conduite Pneumatique (pression de fonctionnement 4 ~ 6 bar)
Temps de réponse ≤ 0,5 secondes (marche / arrêt)
Plage de température - 20 ℃ ~ 150 ℃ (type standard)

3. Caractéristiques structurelles

  • Conception ultra haute VacuumPour:

    • Joint de soufflet en métal (zéro fuite)

    • Plaque de vanne avec Joint conique (joint de classe 10⁻⁹mbar)

  • Actionneurs pneumatiquesPour:

    • Cylindre à double effet (commande par électrovanne requise)

    • Avec indicateur de position mécanique


4. Applications typiques

  • Equipement semi - conducteurPour:

    • Isolation de la cavité de transmission de disque

    • Cavité de processus CVD / PVD

  • Appareils de recherche scientifiquePour:

    • Ligne de faisceau de rayonnement synchrone

    • Système de vide d'accélérateur de particules


5. Exigences d'installation

  • Installation de bridesPour:

    • Limite de couple: 10 nm (étrier ISO - kf40)

    • Nécessite une bague d'étanchéité en cuivre sans oxygène (P / N: vat - cu40)

  • Connexion de la route de gazPour:

    • Prise d'air d'entraînement: G1 / 8 '(purge d'argon recommandée)


6. Interface électrique (nécessite une électrovanne)

Signal Exigences
Signal de vanne ouverte 24V DC (électrovanne d'entraînement)
Signal de la valve off Ressort de rappel (vanne d'arrêt automatique hors tension)

7. Points de maintenance

projet Le cycle opération
Remplacement de la bague d'étanchéité 2 ans ou 10 cycles ⁶ Nécessite un retrait de pince spéciale
Inspection des soufflets 1 année Détection par spectromètre de masse à hélium
Lubrification du cylindre d'entraînement 6 mois Utilisation de la graisse sous vide pfe

8. Comparaison des modèles alternatifs

Marque / modèle Points de différence
VAT 59024-GE01-0004 Version actionneur électrique
Pfeiffer TVA 58500 Vanne à passage direct pour un plus grand débit
NorCal UHV-40 Prix 20% plus bas, taux de fuite légèrement plus élevé

Le délai de livraison standard pour ce modèle est de 8 à 12 semaines. Si nécessaireVersion ultra haute température (300°c)OuVersion sans magnétiqueUn cycle de personnalisation supplémentaire de 6 semaines est requis. TVA recommandée pour accompagnerSérie 52xLe Groupe d'électrovannes réalise un contrôle automatique.

Valve de vide TVA Suisse 59024 - ge01 - 0003