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Bâtiment 6, route no.93 Guosheng, ville de Nanqiao, district de Fengxian, Shanghai
Shanghai maosu Machinery Equipment Co., Ltd
Bâtiment 6, route no.93 Guosheng, ville de Nanqiao, district de Fengxian, Shanghai
Valve de vide TVA Suisse 59024 - ge01 - 0003
| Segment de code | Signification |
|---|---|
| 59024 | Série: vannes angulaires à vide élevé |
| GE01 | Type de bride: ISO - kf40 |
| 0003 | Code de configuration: avec actionneur pneumatique |
| paramètre | spécification |
|---|---|
| Gamme de vide | 10⁻⁶ ~ 1000 mbar |
| Taux de fuite | ≤ 1 × 10⁻⁹ mbar · L / S (Test d'hélium) |
| Norme de bride | ISO-KF40 (DN40) |
| Matériau du corps de valve | Acier inoxydable 316L (EP poli) |
| Matériaux d'étanchéité | Caoutchouc fluoré (FKM) / Joint tout métal en option |
| Mode de conduite | Pneumatique (pression de fonctionnement 4 ~ 6 bar) |
| Temps de réponse | ≤ 0,5 secondes (marche / arrêt) |
| Plage de température | - 20 ℃ ~ 150 ℃ (type standard) |
Conception ultra haute VacuumPour:
Joint de soufflet en métal (zéro fuite)
Plaque de vanne avec Joint conique (joint de classe 10⁻⁹mbar)
Actionneurs pneumatiquesPour:
Cylindre à double effet (commande par électrovanne requise)
Avec indicateur de position mécanique
Equipement semi - conducteurPour:
Isolation de la cavité de transmission de disque
Cavité de processus CVD / PVD
Appareils de recherche scientifiquePour:
Ligne de faisceau de rayonnement synchrone
Système de vide d'accélérateur de particules
Installation de bridesPour:
Limite de couple: 10 nm (étrier ISO - kf40)
Nécessite une bague d'étanchéité en cuivre sans oxygène (P / N: vat - cu40)
Connexion de la route de gazPour:
Prise d'air d'entraînement: G1 / 8 '(purge d'argon recommandée)
| Signal | Exigences |
|---|---|
| Signal de vanne ouverte | 24V DC (électrovanne d'entraînement) |
| Signal de la valve off | Ressort de rappel (vanne d'arrêt automatique hors tension) |
| projet | Le cycle | opération |
|---|---|---|
| Remplacement de la bague d'étanchéité | 2 ans ou 10 cycles ⁶ | Nécessite un retrait de pince spéciale |
| Inspection des soufflets | 1 année | Détection par spectromètre de masse à hélium |
| Lubrification du cylindre d'entraînement | 6 mois | Utilisation de la graisse sous vide pfe |
| Marque / modèle | Points de différence |
|---|---|
| VAT 59024-GE01-0004 | Version actionneur électrique |
| Pfeiffer TVA 58500 | Vanne à passage direct pour un plus grand débit |
| NorCal UHV-40 | Prix 20% plus bas, taux de fuite légèrement plus élevé |
Le délai de livraison standard pour ce modèle est de 8 à 12 semaines. Si nécessaireVersion ultra haute température (300°c)OuVersion sans magnétiqueUn cycle de personnalisation supplémentaire de 6 semaines est requis. TVA recommandée pour accompagnerSérie 52xLe Groupe d'électrovannes réalise un contrôle automatique.
Valve de vide TVA Suisse 59024 - ge01 - 0003