Introduction du produit:

KLA profilm3d est unProfilomètre interférométrique 3D à lumière blancheLe profilomètre optique KLA profilm3d utilise la technologie de balayage interférométrique vertical (wli) avec la technologie d'interférence de phase (PSI). Réaliser des études de topographie de surface à l'échelle sous - nanométrique à un prix inférieur. En utilisant le principe d'interférence de la lumière blanche, aucun dommage à l'échantillon.

Caractéristiques du produit avantage:

• Plage de champ de vision: profilm3d offre une plage de champ de vision allant jusqu'à 2 mm avec un objectif 10x seulement, tandis que sa fonction de zoom optique 4x maximum répond au besoin de basculer plusieurs objectifs pour différentes applications. Tout cela réduit encore le coût de la demande d'achat.

• Table d'échantillon XY automatique de 100mm: chaque profileur optique profilm3d est équipé d'une table d'échantillon XY automatique de 100mm, d'une table tournante d'objectif à 4 trous et d'un dispositif de nivellement manuel en standard.

• Rapport qualité - prix élevé: réalisation d'études de topographie de surface à l'échelle sous - nanométrique à un prix inférieur.

• Mesure de haute précision sans contact: résolution verticale jusqu'à l'échelle subnanométrique (< 1 nm) pour les essais non destructifs de matériaux sensibles tels que les polymères mous, les échantillons biologiques.

• Les réactions intuitives du logiciel profilm3d incluent des mesures de rugosité de surface, de forme et de hauteur de marche. En quelques secondes, vous pouvez obtenir tous les paramètres de rugosité courants mesurés sur les surfaces planes et courbes. Vous pouvez également opter pour une mise à niveau logicielle de la fonction épissure pour combiner plusieurs images afin de fournir des mesures de grande surface.

Principe de mesure du produit:

Le profilomètre optique KLA profilm3d utilise la lumière blanche comme source lumineuse et divise le faisceau lumineux en deux voies à l'aide d'un spectroscope: d'une part, il éclaire la surface de l'échantillon testé et d'autre part, il est projeté sur la surface du miroir de référence, les deux faisceaux réfléchissants formant des franges d'interférence sur la caméra CCD. Une petite différence de hauteur sur la surface de l'échantillon entraîne une variation de la différence de trajet optique, en analysant la distribution lumière - obscurité des franges d'interférence et le décalage de position, en calculant la hauteur relative des points de la surface et en générant des données topographiques tridimensionnelles.

Applications principales:

Profilomètre interférométrique 3D à lumière blancheparamètres

Schéma du profilomètre optique KLA profilm3d: