KLA imicro nanoindenteur

KLA nanoindenteurPrésentation:

Le nanoindenteur KLA imicro mesure facilement les revêtements durs, les films et les petites quantités de matériaux. Précis, flexible et convivial, l'instrument peut fournir une variété de tests mécaniques à l'échelle nanométrique tels que l'indentation, la dureté, les rayures et les tests universels à l'échelle nanométrique. Les entraînements interchangeables offrent une large gamme dynamique de charges de force et de déplacements, permettant aux chercheurs de réaliser des tests exhaustifs et reproductibles sur des matériaux tels que les polymères mous, les métaux durs et les céramiques. Les options modulaires conviennent à une grande variété d'applications: distribution des propriétés des matériaux, tests de fréquence spécifiques, tests de rayures et d'abrasion et tests à haute température. Le nanoindenteur KLA imicro dispose d'une gamme complète d'options pour les extensions de test, y compris le chauffage de l'échantillon, la mesure de rigidité continue, la distribution des propriétés nanoblitz3d / 4d, et le capteur de charge de force gemini2d, qui peut fournir des mesures de frottement et d'autres mesures biaxiales.

KLA nanoindenteurAvantages:

• Conception modulaire, à la fois avec des fonctions de test étendues et des capacités de test automatisées à haut débit, avec un package d'analyse statistique pour la mesure des performances nanomécaniques, la microimagerie par sonde à balayage, la mesure à haute température et le contrôle expérimental en temps réel des tests de caractérisation du courant de tension IV, développement de processus de test simple et facile à utiliser et paramètres de test.

• Les entraînements électromagnétiques inforce1000 standard fournissent jusqu'à 1n de force motrice.

• L'électronique du Contrôleur haute vitesse intégré complète l'acquisition de données à haute vitesse jusqu'à 100 kHz, capturant la réponse instantanée du matériau, par exemple la Rhéologie en dents de scie et les phénomènes de rupture. L'instrument utilise une constante de temps plus courte de 20 μs pour capturer la réponse réelle du matériau en un instant.

• Un cadre de haute rigidité avec isolation acoustique intégrée assure des mesures précises sur divers matériaux.

• Microscope optique haute résolution avec zoom numérique pour localiser l'échantillon avec précision.

• Les spécialistes de NANOINDENTATION donnent des cours professionnels de NANOINDENTATION en ligne, ainsi que des applications mobiles capables de fournir des mises à jour en temps réel des méthodes de test.

Principe de mesure:

Le nanoindenteur KLA imicro utilise un indenteur de diamant de géométrie spécifique pour presser quasi statiquement la surface du matériau avec une charge, enregistrer en temps réel les variations de charge et de profondeur d'enfoncement pendant le chargement - déchargement, générer une courbe charge - déplacement, combiner un modèle mécanique par analyse de courbe, calculer des paramètres tels que La dureté nanométrique et le module d'élasticité du matériau.

Applications principales:

Mesure de la dureté et du module (oliverpharr)

La caractérisation mécanique est essentielle dans le traitement et la fabrication de films minces, qui comprennent la qualité des revêtements dans l'industrie automobile, ainsi que le contrôle des processus dans les segments avant et arrière de la fabrication de semi - conducteurs. Le nanoindenteur KLA imicro est capable de mesurer la dureté et le module de divers matériaux, des gels ultra - mous aux revêtements durs. L'évaluation à grande vitesse de ces caractéristiques garantit un contrôle de qualité sur la ligne de production.

Distribution des propriétés des matériaux à grande vitesse

Pour de nombreux matériaux, y compris les composites, leurs propriétés mécaniques peuvent varier d'un site à l'autre. La plate - forme d'échantillon du nanoindenteur KLA imicro peut être déplacée de 100 mm sur les axes X et y et de 25 mm dans la direction de l'axe Z, ce qui rend le système adaptable à différentes hauteurs d'échantillon et peut être mesuré sur une grande surface d'échantillon. Le logiciel optionnel de topographie et de tomographie nanoblitz peut rapidement cartographier la distribution couleur de n'importe quelle propriété mécanique mesurée.

Essai de dureté iso14577

Le nanoindenteur KLA imicro comprend une méthode de test iso14577 pré - écrite qui mesure la dureté des matériaux conformes à la norme iso14577. Cette méthode d'essai effectue des mesures automatiques et des rapports sur le module d'Young, la dureté de l'instrument, la dureté Vickers et l'indentation normalisée.

Polymère tandelta, stockage et modules de perte

Le nanoindenteur KLA imicro est capable de mesurer le tandelta et les modules de stockage et de perte pour les matériaux ultra - mous, y compris les polymères viscoélastiques. Le module de stockage et de perte ainsi que le tandelta sont des propriétés importantes des polymères viscoélastiques, dont l'énergie est stockée sous forme d'énergie élastique et consommée sous forme de chaleur. Les deux indicateurs sont utilisés pour mesurer la consommation d'énergie d'un matériau donné.

Tests quantitatifs de rayures et d'abrasion

Le nanoindenteur KLA imicro peut effectuer des tests de rayures et d'abrasion sur divers matériaux. Les revêtements et les films sont soumis à plusieurs processus tels que le polissage mécano - chimique (CMP) et le collage par fil, qui testent la résistance du film et son adhésion au substrat. Il est important que ces matériaux résistent à la déformation plastique dans ces processus et restent tels quels sans faire mousser le substrat. Idéalement, le matériau diélectrique doit avoir une dureté et un module d'élasticité élevés, car ces paramètres aident à déterminer comment le matériau réagira dans le processus de fabrication.

Test de NANOINDENTATION à haute température

Les nanoindentations à haute température sont importantes pour caractériser les propriétés des matériaux sous contrainte thermique, en particulier pour quantifier les mécanismes de défaillance dans les processus thermomécaniques. La modification de la température de l'échantillon lors d'un test mécanique permet non seulement de mesurer les changements de comportement induits par la chaleur, mais également de quantifier la plasticité de transition du matériau qui n'est pas facilement testée au niveau nanométrique.

Applications de l'industrie:

Avantages techniques:

• Mesure de rigidité continue (CSM)

• Nanoblitz3d distribution rapide des propriétés mécaniques

• Nanoblitz4d tomographie des propriétés mécaniques

• Probedm test des hauts polymères

• Méthode accufil film

• Chauffage des échantillons à 300°c

• Test de NANOINDENTATION normalisé au niveau international

Options de mise à niveau:

Options de test de rayures et d'abrasion

Les tests de rayures et d'abrasion appliquent une charge longitudinale constante ou croissante à la sonde lorsqu'elle traverse la surface de l'échantillon et peuvent être utilisés pour caractériser une grande variété de matériaux tels que les films minces, les céramiques fragiles et les hauts polymères.

Options de test des matériaux bio - mous

Méthode d'essai de biomatériaux utilisant un test continu de rigidité CSM pour caractériser les matériaux mous biologiques ayant un module d'environ 1 kPa contenant une tête de pression à fond plat et une méthode d'essai pour mesurer le module de perte de stockage des matériaux mous,

Options de test databurst

Le mode databurst déclenche l'acquisition de données à des vitesses allant jusqu'à 100 kHz, capturant les réponses instantanées du matériau, telles que la Rhéologie en dents de scie et les phénomènes de rupture; Permet de mesurer les propriétés mécaniques des matériaux à haut taux de déformation sous charge pas à pas; Les instruments utilisent des constantes de temps plus courtes pour aider les clients à capturer la réponse réelle du matériau en un instant.

Plate - forme ouverte d'écriture de logiciels inview

Inview utilise une plate - forme d'écriture logicielle ouverte pour aider les clients à contrôler le chargement, la mesure et le calcul pendant le processus de test. Pour la conception d'expériences nouvelles ou complexes. Une plate - forme d'écriture de logiciels ouverte offre aux clients une plus grande flexibilité: elle facilite la collecte des données de test brutes et l'utilisation des résultats d'analyse finaux; Les clients peuvent naviguer, modifier la formule de calcul, personnaliser les paramètres, réaliser une conception d'essai personnalisée; Les utilisateurs sont libres de concevoir et de modifier les paramètres d'essai et le processus d'essai, offrant la possibilité d'explorer de nouveaux tests d'essai.

Test électrique truetesti - V

L'option truetesti - V permet à l'utilisateur d'appliquer une tension spécifique à l'échantillon et de mesurer le courant de la tête de pression pour caractériser les variations locales des propriétés électriques au cours des mesures nanomécaniques.

Isolation active des vibrations avec rack modulaire

L'ajout d'une isolation active par rapport à l'isolation passive intégrée du nanoindenteur KLA imicro offre une bonne stabilité et précision pour la réalisation de mesures nanomécaniques de haute difficulté telles que des films minces ultra - fins. Le système d'isolation active des vibrations réduit les vibrations à tous les six degrés de liberté sans ajustement.

Plate - forme de codeur optique linéaire de haute précision

Option de codeur optique linéaire (loe) qui améliore la précision de positionnement du processus de test pour le positionnement de petites structures.

Sondes de pression et échantillons calibrés

Les presseurs interchangeables pour les entraînements inforce50, inforce1000 et Gemini comprennent berkovich, stereo corner, Vickers, ainsi que les presseurs à fond plat et à sphère.

Diagramme de mesure du nanoindenteur KLA imicro: