KLA R50 appareil de mesure de résistivité à quatre sondes

KLA R50 mesure de résistivité à quatre sondes présentation du produit:

Système de cartographie de résistivité à quatre sondes KLA R50Est un produit de la série de tests de résistance KLA. La mesure et la surveillance de la résistance sont importantes pour toute industrie utilisant des films conducteurs, de la fabrication de semi - conducteurs à l'électronique flexible requise par la technologie portable.KLA R50 appareil de mesure de résistivité à quatre sondesOn peut intervenir dans les domaines de la distribution de l'homogénéité des films métalliques, de la caractérisation du dopage ionique et de l'implantation, de la distribution de l'épaisseur et de la résistivité des films minces et de la mesure de l'épaisseur des films sans contact.

Avantages de la mesure de résistivité à quatre sondes KLA R50:

• Sonde à quatre points avec contact (4pp) et configuration à courants de Foucault électriques sans contact (EC);

• 100mmz course, contrôle de haute précision;

• Résistance de film mince de conducteur et de semi - conducteur, 10 gammes d'ordre de grandeur s'appliquent;

• L'édition personnalisée du point de test, y compris les coordonnées rectangulaires, linéaires, polaires, ainsi que la configuration personnalisée;

• Plate - forme électrique 200mmxy;

• Le logiciel rsmapper est flexible et facile à utiliser;

• Compatible avec toutes les sondes de mesure de résistance de film mince KLA;

Principe de mesure du résistivimètre à quatre sondes KLA R50:

Sonde à quatre points (4pp)Une sonde composée de quatre sondes conductrices entre en contact avec la surface de la couche conductrice avec une force contrôlable, avec une couche résistive non conductrice entre la couche conductrice testée et le substrat. La configuration de la sonde pour la mesure standard est d'appliquer un courant entre les deux sondes externes et de mesurer une tension entre les deux sondes internes. Lors de la mesure de la résistance du film mince, l'épaisseur de la couche conductrice doit être inférieure à 1 / 2 de la distance entre les deux sondes. KLA dansR50 appareil de mesure de résistivité à quatre sondesUpper a développé une technologie bi - mode qui permet de mesurer la tension sur les sondes espacées et configure les fonctions de correction dynamique de l'effet limite et de compensation des erreurs d'espacement des sondes. KLA offre une large gamme de types de sondes pour adapter et optimiser les mesures de caractérisation de différents matériaux de surface, et peut être utilisé dans presque n'importe quel film mince conducteur ou couche d'implantation ionique.

Courants de Foucault électriques (EC)Est une technologie de mesure de film mince conducteur sans contact. Un courant variable dans le temps est appliqué à travers la bobine pour créer un champ magnétique variable dans le temps qui, lorsque ce champ magnétique est proche d'une surface conductrice, crée un courant variable dans le temps induit (Vortex) dans cette surface. Ces tourbillons électriques produisent à leur tour leur propre champ magnétique variable dans le temps qui est couplé à la bobine de la sonde et produit une variation de signal proportionnelle à la résistance de l'échantillon. La technologie EC spéciale de KLA, avec une seule sonde située sur le dessus de l'échantillon, permet un ajustement dynamique de la hauteur de la sonde à chaque point de mesure, ce qui est important pour la précision et la répétabilité de la mesure. La méthode EC n'est pas affectée par la taille de la sonde ou l'oxydation de surface et est idéale pour les échantillons plus mous ou autres qui ne sont pas adaptés à la mesure par contact 4pp.

Mesure de résistivité à quatre sondes KLA R50 applications industrielles:

Mesure de résistivité à quatre sondes KLA R50 application du produit:

I. uniformité du film métallique

L'uniformité de résistance de film mince des films métalliques est assez importante pour assurer la performance des éléments, et la plupart des films métalliques peuvent être mesurés par 4pp et EC. La CE est recommandée pour les films métalliques plus épais et hautement conducteurs, et le 4pp convient aux films métalliques plus minces (> 10 Ω / sq), mais en tout état de cause, le 4pp / EC présente une forte corrélation, ce qui permet d'obtenir des résultats précis avec l'une ou l'autre méthode. Le diagramme de distribution de résistance de l'appareil de mesure de résistivité à quatre sondes KLA R50 peut caractériser l'uniformité du film, la qualité du dépôt et d'autres fluctuations du processus.

II. Caractérisation de l'implantation ionique

La méthode 4pp est une technique de mesure standard pour mesurer les procédés d'implantation ionique. Le test de la distribution d'implantation ionique après recuit thermique permet d'identifier les points chauds et froids dus à un dysfonctionnement de la lampe, à un mauvais contact plaquette / plateau ou à un changement de dose d'implantation. Pour la couche d'implantation d'ions silicium, un procédé de recuit thermique est nécessaire pour activer les ions dopés.

Iii. Épaisseur de film / résistivité / résistance de film

Par les données de Wafer acquises,KLA R50 appareil de mesure de résistivité à quatre sondesLa résistance du film, l'épaisseur du film ou la distribution de résistivité peuvent être tracées. Grâce à la résistivité du matériau d'entrée, la distribution de l'épaisseur du film peut être calculée et affichée; Ou en entrant des données sur l'épaisseur du film, vous pouvez calculer la distribution de résistivité.

Iv. Acquisition et visualisation des données

KLA R50 appareil de mesure de résistivité à quatre sondesLe logiciel rsmapper combine l'acquisition de données et de puissantes capacités d'analyse avec une interface visuelle intuitive, c'est - à - dire qu'il peut être utilisé sur l'appareil lui - même ou hors ligne. Divers outils de mise en page des coordonnées que le logiciel apporte lui - même peuvent aider les utilisateurs à définir facilement les points de mesure des données.

Paramètres du produit de mesure de résistivité à quatre sondes KLA R50:

Diagramme de mesure du résistivimètre à quatre sondes KLA R50: