Filmetrics mesure automatique d'épaisseur de film optique

NégociableMise à jour sur01/05

Modèle

Nature du fabricant: producteurs

Catégorie de produit

Lieu d'origine

Consulter en ligne

Vue d'ensemble

L'épaisseur de film optique de mesure automatique de filmetrics permet de mesurer rapidement et facilement l'épaisseur de film d'un échantillon de 200 x 200 mm grâce au système de réflexion spectrale du f54 - xyt - 300. La table XY motorisée se déplace automatiquement vers le point de mesure sélectionné et fournit une mesure rapide de l'épaisseur à une vitesse pouvant atteindre deux points par seconde.

Détails du produit

Filmetrics mesure automatique d'épaisseur de film optiquePrésentation:

Filmetrics f54 - xyt - 300 mesure automatique d'épaisseur de film optique grâce au système de réflexion spectrale du f54 - xyt - 300, l'épaisseur de film peut être mesurée rapidement et facilement sur des échantillons de 200 x 200 mm. La table XY motorisée se déplace automatiquement vers le point de mesure sélectionné et fournit une mesure rapide de l'épaisseur à une vitesse pouvant atteindre deux points par seconde.

Caractéristiques avantage:

Système automatisé de dessin d'épaisseur de film, positionnement rapide, résultats obtenus en temps réel;
Couche de membrane d'échantillon mesurable: essentiellement lisse. Les films non métalliques peuvent tous être mesurés;
Les résultats de la cartographie peuvent être présentés en 2D ou en 3D, ce qui facilite la visualisation par l'utilisateur sous différents angles;

Principe de mesure:

Lorsque la lumière incidente pénètre dans l'interface de différentes substances, il y aura une partie de la lumière réfléchie, en raison de la volatilité de la lumière, la lumière réfléchie de plusieurs interfaces interfère les unes avec les autres, ce qui provoque un phénomène de choc dans le spectre Multi - longueur d'onde de la lumière réfléchie. À partir de la fréquence de commotion du spectre, il est possible de déterminer la distance entre les différentes interfaces pour obtenir l'épaisseur du matériau (plus de commotion représente plus d'épaisseur), tout en obtenant d'autres caractéristiques du matériau telles que l'indice de réfraction et la rugosité.

Exemples d'applications et de couches de membrane:

Couche de membrane semi - conductrice	Technologie d'affichage	électronique grand public	Pirelin
Colle photolithographique	OLED	Revêtement imperméable	Produits électroniques / circuits imprimés
Couche diélectrique	Ito et TCO	Identification par radiofréquence	Matériaux magnétiques
Arséniure de gallium	Épaisseur de la boîte à air	Batterie solaire	Dispositifs médicaux
Systèmes micro - électromécaniques	PVD et CVD	Film anodique pour boîtier en aluminium	Caoutchouc de silicone

Applications industrielles courantes:

Fabrication de semi - conducteurs	Affichage LCD à cristaux liquides	Revêtement optique	MEMS microsystèmes électromécaniques
Colle photolithographique	Polyimide	Revêtement dur	Colle photolithographique
Oxydes / nitrures / soi	FILM CONDUCTEUR TRANSPARENT Ito	Revêtement antireflet	Couche de silicium
Broyage du dos de la plaquette

Paramètres du produit:

Gamme de longueur d'onde:	190nm à 1700nm	Source de lumière:	Lampe halogène tungstène, lampe deutérium
Mesure NK épaisseur exigence 1 *:	50 nm	Précision de mesure 2:	0,02 nm
Précision *: prendre le plus grand	1 nm ou 0,2%	Stabilité 3:	0,05 nm
Taille de l'échantillon:	≤ diamètre 300 mm	Vitesse (contient la plate - forme sous vide):	5 points - 8 secondes 25 points - 21 secondes 56 points - 43 secondes

Taille du spot	Ouverture standard de 500 microns	Optionnel avec ouverture de 250 microns	Optionnel avec diamètre de pores de 100 microns
Objectif 5x	100 μm	50 μm	20 μm
Objectif 10x	50 μm	25 μm	10 μm
15X Objectif	33 μm	17 μm	7 μm
Objectif 50x	10 μm	5 μm	2 μm

Filmetrics mesure automatique d'épaisseur de film optiqueDiagramme de mesure:

Produit similaire Recommander