KLA instrument de mesure de résistivité à quatre sondes

KLA instrument de mesure de résistivité à quatre sondesEst un produit de mesure de résistivité de KLA. De la fabrication de semi - conducteurs à l'électronique flexible nécessaire à la mise en œuvre de la technologie portable, la surveillance de la résistance des films minces est importante pour toute industrie utilisant des films minces conducteurs. L'appareil de mesure de résistivité à quatre sondes KLA r54 est fonctionnellement optimisé pour la cartographie de l'homogénéité des films métalliques, la caractérisation de l'implantation ionique et les caractéristiques de recuit, la mesure de l'épaisseur et de la résistivité des films et la mesure de l'épaisseur des films sans contact.

Avantages:

• Modification personnalisée du point de test, y compris les coordonnées rectangulaires, linéaires, polaires, ainsi que les configurations personnalisées

• Peut contenir jusqu'à 300 mm ronds ou A4 (210mm * 297mm) échantillons en option

• Résistance de film mince de conducteur et de semi - conducteur, 10 gammes d'ordre de grandeur s'appliquent

• Configurable en mode quatre sondes (4pp) ou Vortex sans contact (EC)

• Système fermé pour faciliter la mesure d'échantillons sensibles à la lumière ou à l'environnement

• Supporte une hauteur d'échantillon maximale de 15mm

• Plate - forme x - y de haute précision

• Petite taille de sonde EC

• Correction automatique d'erreur de hauteur de sonde EC

• Compatible avec les sondes de mesure de résistance de film mince KLA;

Principe de mesure:

Une sonde à quatre points (4pp) est une sonde composée de quatre sondes conductrices en contact avec la surface de la couche conductrice avec une force contrôlable, avec une couche résistive non conductrice entre la couche conductrice testée et le substrat. La configuration de la sonde pour la mesure standard est d'appliquer un courant entre les deux sondes externes et de mesurer une tension entre les deux sondes internes. Lors de la mesure de la résistance du film mince, l'épaisseur de la couche conductrice doit être inférieure à 1 / 2 de la distance entre les deux sondes. KLA a développé la technologie bi - mode sur le résistivimètre à quatre sondes r54, qui permet de mesurer la tension sur les sondes espacées et configure les fonctions de correction dynamique de l'effet limite et de compensation des erreurs d'espacement des sondes. KLA offre une large gamme de types de sondes pour adapter et optimiser les mesures de caractérisation de différents matériaux de surface, et peut être utilisé dans presque n'importe quel film mince conducteur ou couche d'implantation ionique.

Electric vortex (EC) est une technologie de mesure de film mince conducteur sans contact. Un courant variable dans le temps est appliqué à travers la bobine pour créer un champ magnétique variable dans le temps qui, lorsque ce champ magnétique est proche d'une surface conductrice, crée un courant variable dans le temps induit (Vortex) dans cette surface. Ces tourbillons électriques produisent à leur tour leur propre champ magnétique variable dans le temps qui est couplé à la bobine de la sonde et produit une variation de signal proportionnelle à la résistance de l'échantillon. La technologie EC spéciale de KLA, avec une seule sonde située sur le dessus de l'échantillon, permet un ajustement dynamique de la hauteur de la sonde à chaque point de mesure, ce qui est important pour la précision et la répétabilité de la mesure. La méthode EC n'est pas affectée par la taille de la sonde ou l'oxydation de surface et est idéale pour les échantillons plus mous ou autres qui ne sont pas adaptés à la mesure par contact 4pp.

Applications de l'industrie:

Application du produit:

I. uniformité du film métallique

L'uniformité de résistance de film mince des films métalliques est assez importante pour assurer la performance des éléments, et la plupart des films métalliques peuvent être mesurés par 4pp et EC. La CE est recommandée pour les films métalliques plus épais et hautement conducteurs et le 4pp convient aux films métalliques plus minces (> 10 Ω / sq), mais dans tous les cas, le 4pp / EC présente une corrélation élevée, ce qui permet d'obtenir des résultats précis avec l'une ou l'autre méthode. Le diagramme de distribution de résistance de l'appareil de mesure de résistivité à quatre sondes KLA r54 peut caractériser l'uniformité du film, la qualité du dépôt et d'autres fluctuations du processus.

II. Caractérisation de l'implantation ionique

La méthode 4pp est une technique de mesure standard pour mesurer les procédés d'implantation ionique. Le test de la distribution d'implantation ionique après recuit thermique permet d'identifier les points chauds et froids dus à un dysfonctionnement de la lampe, à un mauvais contact plaquette / plateau ou à un changement de dose d'implantation. Pour la couche d'implantation d'ions silicium, un procédé de recuit thermique est nécessaire pour activer les ions dopés.

Iii. Épaisseur de film / résistivité / résistance de film

Grâce aux données de la plaquette acquises, le mesureur de résistivité à quatre sondes KLA r54 peut cartographier la résistance du film mince, l'épaisseur du film mince ou la distribution de résistivité. Grâce à la résistivité du matériau d'entrée, la distribution de l'épaisseur du film peut être calculée et affichée; Ou en entrant des données sur l'épaisseur du film, vous pouvez calculer la distribution de résistivité.

Iv. Acquisition et visualisation des données

Le logiciel rsmapper de l'appareil de mesure de résistivité à quatre sondes KLA r54 combine des fonctions d'acquisition et d'analyse de données avec une interface visuelle intuitive, c'est - à - dire qu'il peut être utilisé sur l'appareil lui - même ou hors ligne. Divers outils de mise en page des coordonnées que le logiciel apporte lui - même peuvent aider les utilisateurs à définir facilement les points de mesure des données.

Paramètres du produit:

KLA instrument de mesure de résistivité à quatre sondesDiagramme de mesure: