Détecteur de contenu élémentaire de haute précision dans les matériaux semi - conducteurs

Détecteur de contenu élémentaire de haute précision dans les matériaux semi - conducteurs

Technologies et instruments de détection de base

1. Spectromètre d'émission à plasma à couplage inductif (ICP - OES)

• Instruments utilisés en laboratoire (ICP-OES)En détailPrésentationPour:

• InstrumentsCaractéristiques de performance:

• 1,Haut degré d'automatisation des instruments

• Degré d'automatisation des instrumentshaut, toutes les opérations sont effectuées par logiciel, à l'exception de l'interrupteur d'alimentation. Un logiciel intelligent qui fournit des informations et des commentaires en temps réel sur les opérations.

• 2,Alimentation RF solide sûre et fiable

• L'alimentation RF utilisée par l'instrument, avec une petite taille, un rendement de sortie élevé et une puissance de sortie stable, avec divers types de fonctions de protection de sécurité telles que la voie d'eau, la voie d'air et la surcharge, améliore considérablement la sécurité de l'instrument et réduit le taux d'échec de l'instrument.

• 3, allumage entièrement automatique et technologie de correspondance

• Le logiciel peut être allumé par une touche entièrement automatique, tous les paramètres changent, tout se fait automatiquement. Avec la technologie de correspondance automatique, le taux de réussite d'allumage est élevé et l'opération est facile.

• 4, fonction intelligente de surveillance de flamme

• L'instrument est configuré avec sensibilitéhautLe capteur à fibre optique, qui peut surveiller la situation de fonctionnement de la flamme en temps réel dans l'état de fonctionnement de l'instrument, peut éteindre automatiquement l'instrument en cas d'extinction anormale.

• 5, système de chemin optique à ultra haute résolution

• L'instrument est configuré en ultra haute résolution4320 grille importée de la ligne de démarcation, ajustement*Technologie de régulation du chemin optique, la résolution de l'instrument ordinaire est d'environ0, 008nm réduit à 0, 005nm, la résolution ultra haute garantit aucune interférence mutuelle entre les éléments testés.

• 6,PrécisionhautSystème de température constante

• Le chemin optique global de l'instrument est protégé par un système de température constante de précision, le contrôle de la température peut être réglé en temps réel en fonction de la température ambiante réelle du laboratoire du client, pas besoin d'une longue ouverture ininterrompue réglable, précision du contrôle de la température≤ ± 0, 1 ℃, le système thermostatique précis garantit la stabilité du chemin optique, les données de test sont plus stables.

• 7, système de contrôle de flux d'air de haute précision

• Le gaz plasma, le gaz auxiliaire, le gaz porteur dans le travail de l'instrument tous adoptent le Contrôleur de Débit massique de haute précision (MFC) pour le contrôle, avec un débit réglable en continu et une haute précision du flux d'air de sortie, garantissant la précision des données de test.

• 8,Dispositif d'échantillonnage par pompe péristaltique

• L'instrument est configuré avec la pompe péristaltique de haute précision du Canal à douze rouleaux, qui peut simultanément garantir la précision de l'échantillon entrant et empêcher l'accumulation de liquide, la vitesse de rotation de la pompe péristaltique est réglable en continu pour répondre aux exigences de test multiples des clients.

• 9, réglage automatique de la position d'observation

• L'instrument est conçu à l'aide d'une plate - forme mobile bidimensionnelle qui peut ajuster la position du tube de torche en temps réel grâce au logiciel, trouver une position d'observation optimisée à l'aide de la valeur du signal de rétroaction pour obtenir une forte sensibilité et obtenir un effet de test précis.

• 10, coût d'utilisation très bas

• Instrument en état de non - fonctionnement de l'alimentation de l'instrument, du réservoir d'eau de refroidissement, du gaz tout éteint, sans encourir de frais, l'instrument fonctionne prêt à l'emploi, sans long préchauffage du chemin optique. La pureté d'utilisation de l'argon est99, 99*% est correct, pas besoin de 99, 999% d'argon de haute pureté, économie de coûts d'au moins un tiers.

• 11, sensibilitéhautLe détecteur

• L'instrument est configuré avec un tube photomultiplicateur importé de haute sensibilité (PMT) en tant que détecteur, les paramètres de test peuvent être automatiquement définis pour différents éléments à mesurer afin d'atteindre l'état de détection idéal, donnant des résultats de test précis. Pas besoin de réfrigération, pas de purge, longue durée de vie.

• ICP-OESInstrumentsParamètres techniques :

• 1, alimentation d'entrée: tension AC 220V, courant 20A.

• 2,AdoptionChemin optique de type czernyturner avec une distance focale de 1000 mm.

• 3, grille holographique gravée par ions, zone de gravure (80 × 110) MM.

• 4,Allumage entièrement automatique à une touche, auto - match, allumage stable et pratique.

• 5, utilisant l'atomiseur circulaire concentrique avec la Chambre de brouillard de tourbillon, intensité de 1ppmmn > 1000000cps.

• 6, résolution (mn257, 610nm): ≤ 0, 005nm (4320 réseau sécant); ≤ 0, 008nm (3600 réseaux sécants); ≤ 0, 015 nm (2400 réseaux sécants).

• 7, gamme de longueur d'onde: 190 - 460nm (4320 réseau sécant); 190 - 500nm (3600 réseau sécant); 190 - 800nm (2400 réseau sécant)

• 8. Auto - développement de l'alimentation RF tout solide, puissance de sortie 800 - 1600w, réglable en continu, l'efficacité de l'alimentation est supérieure à 65%, fréquence de fonctionnement 27, 12mhz, stabilité de fréquence < 0, 05%, stabilité de sortie de puissance < 0, 05%.

2. Spectromètre de fluorescence X (XRF)

• Dépistage rapide des contaminants métalliques à la surface des tranches de silicium.

• Vérification de la pureté du creuset de quartz.

• Faible sensibilité (limite de détection > 0,1%) aux éléments légers tels que H, He, Li, be.

• La précision quantitative est influencée par l'effet de matrice (erreur relative d'environ 1% - 5%).

• Détection non destructive: l'échantillon n'a pas besoin d'être dissous ou broyé, peut analyser directement les solides, les poudres, les liquides.

• Large gamme de détection: la grande majorité des éléments allant du sodium (Na) à l'uranium (u) peuvent être analysés.

• Dépistage rapide: le temps de détection ne prend que quelques secondes à quelques minutes et convient à la détection par lots de la ligne de production.

• Type de dispersion de longueur d'onde (wdxrf): haute résolution pour une analyse quantitative de haute précision.

• Type à dispersion énergétique (EDXRF): rapide, portable et adapté aux analyses sur le terrain.

• Le principe: illuminer l'échantillon avec des rayons X, exciter les rayons X fluorescents caractéristiques, déterminer l'espèce et le contenu de l'élément en détectant la longueur d'onde et l'intensité.

• ClassificationPour:

• AvantagesPour:

• 局限性Pour:

• Scénario d'applicationPour:

• Scénario d'applicationPour:

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